仪器编号：登录后查看
所属平台： 电镜集群
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 微纳光子学研究所
仪器生产商： Raith
购置日期： 2014-05-15
规格型号： ELPHY Quantum
放置地址：129
仪器管理员：李强
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 基于扫描电镜安装的电子束曝光系统，利用电子束对传统抗蚀剂的曝光作用，加工出图形分辨率高、线条边缘陡直的微纳尺寸图形；它由硬件和软件组成。PC机通过图形发生器和数模转换电路驱动扫描电镜的扫描线圈，使电子束偏转并控制电子束闸的通断，从而实现纳米图形的直接刻写。 |
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| 主要参数： |
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