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镀膜仪

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镀膜仪

镀膜仪

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 生命科学研究院 > 生命科学研究院(直管)

仪器生产商: 徕卡

购置日期: 2021-10-15

使用模式:

规格型号: ACE600

放置地址:紫金港校区 > 医学科研楼 > 二层 > A218

仪器管理员:马杰

联系电话:登录后查看

工作时间: 08:30-12:00;14:00-17:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

通过电子束蒸发金属镀膜方式对样品表面进行均匀的金属镀膜,实现非导电样品的导电处理,适宜于SEM观察;通过电子束蒸发蒸发碳镀膜对样品表面进行蒸镀均匀的碳膜,实现非导电样品的导电处理。

主要参数: 溅射电流:0-400mA,可调;溅射时间:1-1800秒,可调;镀膜终止:可按时间终止;也可根据设定膜厚镀膜过程;内置式触摸屏控制面板,镀膜过程控制:自动镀膜;镀膜靶源采用倾角式设计,配置旋转样品台,可使镀膜最均匀;电子束蒸发镀膜,带有石英膜厚监控器,可根据设定膜厚自动终止镀膜,实现镀膜厚度的精确控制。控制精度0.1nm;带有氩气灌洗功能,以去除管路中残留气体,保证样品室内无污染;带有预溅射功能,金属靶带有挡板保护;全无油真空系统:隔膜泵×1+分子泵×1,最优真空度:≤1x10-6mbar。
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备案收费标准 登录后可查看
说明:原则上按备案收费标准执行,实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。