仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 布鲁克
购置日期： 2022-10-25
规格型号： Dimension ICON
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 115-113
仪器管理员：刘艳华
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 8:30-17:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 12 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 168 小时 0 点； 普通: 168 小时 0 点； 资深: 168 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 具备全探针扫描技术的扫描器，扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动，而样品为完全静止状态，以保证大样品测试的安全和稳定； Z方向噪声水平: 开环控制< 0.3Å ，闭环控制< 0.35 Å（图象测试）；< 0.5Å（力测试）； XY方向噪音水平: 开环控制< 0.1nm, 闭环控制< 0.15nm；智能自动进针方式；全自动可程序控制高精度样品台：可支持的样品XY方向尺寸达200mm，高度方向可测试15mm高度的样品. 样品台可高精度程序控制，并提供真空吸附的功能。 |
| 主要参数： | 垂直方向测试极限为10um，可支持的样品XY方向尺寸达200mm，高度方向可测试15mm高度的样品. |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
