仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 台湾技鼎股份有限公司
购置日期： 2012-06-21
规格型号： RTP-VT100M
放置地址：旧平台超净室
仪器管理员：王妹芳
联系电话：登录后查看
RTP快速退火炉
RTP快速退火炉
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所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 台湾技鼎股份有限公司
购置日期： 2012-06-21
规格型号： RTP-VT100M
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| 工作时间： | 08:30-17:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 24 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | <p><span style="color: rgb(57, 57, 57); font-family: "Open Sans"; font-size: 13px; background-color: rgb(228, 230, 233);">可实现应力释放、合金化、注入激活等多种功能。</span></p> |
|---|
| 主要参数： | 1.样品尺寸：4英寸1片 2.温度使用范围：~1000℃ 3.升温速率：晶圆50℃/秒，石墨载盘50℃/秒 4.温度均匀性：±1% 5.可编程温度曲线存储500条以上，每条曲线可包括50段以上，温度设定范围100℃-1000℃时间设定范围600s（最多）6.实时温度曲线，显示及存储功能，存储实验曲线500条以上。 7. 退火环境：可以在常压（氮气、氧气环境下）、真空环境下退火。 |
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