仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 美国DENTON VACUUM, LLC
购置日期： 0000-00-00
规格型号： DISCOVERY-635
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 115
仪器管理员：孙家宝
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 00:30-24:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 24 小时 |
| 日历最小单位： | 0.1 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 2400 小时 0 点； 普通: 2400 小时 0 点； 资深: 2400 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 10 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 30 分钟 |
| 仪器介绍： | 该设备为美国进口设备，具有镀膜效率高、均匀性好、支持除毒性和腐蚀性外的各种材料的溅射镀膜工艺，包括金属单质、合金、氧化物、半导体等。可实现一种材料的溅射，也可实现三种材料的同时共溅射。除去正式镀膜时间，从进样抽真空到破真空出样20分钟左右。如镀膜时间为5分钟（每个用户镀膜厚度不同，所需时间不同），整个镀膜过程可30分钟以内完成。 |
| 主要参数： | 本地真空度5e-6Torr以下，射频电源最大功率600W，直流电源最大功率1200W，衬底加热最高温度800℃，靶材直径76.2mm，靶材厚度3mm或者6mm。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
