形状激光测量显微系统

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仪器介绍
主要参数

工作时间：	09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段：	0.5 小时
最大可预约时间段：	168 小时
日历最小单位：	0.5 小时
最近提前预约时间：	未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间：	初级: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数：	5 次/天
无代价撤销预约时间：	1440 分钟

序号	标题	文件数量	添加时间	操作
1	仪器说明及预约说明	1	2024-06-25 17:47:26	下载

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仪器介绍：	超高速地扫描样品表面，采集表面颜色和微观形貌立体化信息，获取高分辨率、彩色、高低图像。具备以下特色：（1）高精度：配备超高灵敏度光电倍增器，高精度16bit感应。高级别0.5nm线性标尺，准确性、重复性双重精度保证。（2）高效性：快速了解“差异”，利用多文件分析功能分析多个样品的差异，自动计算尺寸、体积、面积等多项数据。（3）分析力：非接触、非破坏、高精度地再现表面形状，测量高度、宽度、角度等。粗糙度分析简单：测量各种目标物的线粗糙度、面粗糙度等。（4）观察力：显微系统功能，高质量的光学观察，消除对较模糊，深度合成功能。可视化纳米级的起伏部位、损伤部位观察。（5）定量化：配套的分析软件能够实现体积面积测量，平均高度差测量，线粗糙度、表面粗糙度测量，平面测量，薄膜厚度测量等。

仪器介绍：

超高速地扫描样品表面，采集表面颜色和微观形貌立体化信息，获取高分辨率、彩色、高低图像。具备以下特色：（1）高精度：配备超高灵敏度光电倍增器，高精度16bit感应。高级别0.5nm线性标尺，准确性、重复性双重精度保证。（2）高效性：快速了解“差异”，利用多文件分析功能分析多个样品的差异，自动计算尺寸、体积、面积等多项数据。（3）分析力：非接触、非破坏、高精度地再现表面形状，测量高度、宽度、角度等。粗糙度分析简单：测量各种目标物的线粗糙度、面粗糙度等。（4）观察力：显微系统功能，高质量的光学观察，消除对较模糊，深度合成功能。可视化纳米级的起伏部位、损伤部位观察。（5）定量化：配套的分析软件能够实现体积面积测量，平均高度差测量，线粗糙度、表面粗糙度测量，平面测量，薄膜厚度测量等。

主要参数：	白光成像光学系统和激光共聚焦光学系统。（1）白光光源：LED光源，560万像素彩色摄像机。（2）激光共聚焦光学系统：采用针孔共聚焦模式，在上下移动镜头的同时拍摄多张高质量的光学图像，对焦点位置的高度进行拼接，从而构建出三维立体形状，可在短时间内对大范围进行测量；符合ISO25178-6标准。1.激光专用物镜：5倍：工作距离为22.5，带有环形照明；10倍：工作距离为16.5，带有环形照明；20倍：工作距离为11；20倍：工作距离为3.1；50倍：工作距离为0.54。以上物镜均具有光学变焦扫描观察功能。2.内置目镜：内置目镜放大24倍，激光扫描倍率1x-8x放大，最高综合倍率为16000倍。高度测量测量范围7mm,线性标尺0.5nm,测量显示分辨率5nm。3.采集软件与分析软件：采集软件和分析软件可分离使用，采集图像时不影响分析工作。软件可进行图像采集和分析测量、以及对激光显微镜的控制，包括：自动聚集、物镜转换、扫描模式选择、电动载物台的移动定位等。表面粗糙度测量符合ISO25178标准,线粗糙度测量符合ISO4287标准。

主要参数：

白光成像光学系统和激光共聚焦光学系统。（1）白光光源：LED光源，560万像素彩色摄像机。（2）激光共聚焦光学系统：采用针孔共聚焦模式，在上下移动镜头的同时拍摄多张高质量的光学图像，对焦点位置的高度进行拼接，从而构建出三维立体形状，可在短时间内对大范围进行测量；符合ISO25178-6标准。1.激光专用物镜：5倍：工作距离为22.5，带有环形照明；10倍：工作距离为16.5，带有环形照明；20倍：工作距离为11；20倍：工作距离为3.1；50倍：工作距离为0.54。以上物镜均具有光学变焦扫描观察功能。2.内置目镜：内置目镜放大24倍，激光扫描倍率1x-8x放大，最高综合倍率为16000倍。高度测量测量范围7mm,线性标尺0.5nm,测量显示分辨率5nm。3.采集软件与分析软件：采集软件和分析软件可分离使用，采集图像时不影响分析工作。软件可进行图像采集和分析测量、以及对激光显微镜的控制，包括：自动聚集、物镜转换、扫描模式选择、电动载物台的移动定位等。表面粗糙度测量符合ISO25178标准,线粗糙度测量符合ISO4287标准。

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