仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 信息与电子工程学院（直管）
仪器生产商： 江苏京创先进电子科技有限公司
购置日期： 2021-04-16
规格型号： AR3000,600mm*970mm*1600mm，3kW
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 地下室 > B06
仪器管理员：余亚龙
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 1小时； 普通资格用户: 1小时； 资深资格用户: 1小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 72 小时 0 点； 普通: 72 小时 0 点； 资深: 72 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 1）可实现对6寸晶圆的划片切割，设备对准精度高，切割跑道尺寸小；2）配备高集成度辅助控制软件，对准、切割等操作能自动控制，操作简便；3）配备非接触测高、刀破检测等辅助功能，避免损伤芯片； |
| 主要参数： | 1)可加工基片尺寸：≥φ150mm；2)最大切割深度：样品厚度＜800μm，可切透；样品厚度＞800μm，可切割800μm槽，样品最大厚度10mm 3)切槽宽度：≤刀厚（40μm）+10μm(切割材料深度小于1mm时)；4)X轴工作行程：≥170mm；5)X轴分辨率：≤0.001mm；6)X轴切割速度：0.1~500mm/s；7)Y轴工作行程：≥170mm；8)Y轴重复定位精度：≤0.005mm/170mm；9)Z轴工作行程：≥30mm；10)Z轴分辨率：≤0.001mm；11)主轴功率：≥1.5KW；12)自动切割模式/半自动切割模式、单向切割模式和双向切割模式；13)配套自动图像识别功能；14)配套刀破检测功能；15)配套非接触测高功能；16)气源气压：0.6~0.8MPa（供应商配套空气压缩机、冷干机、气罐及安装）；17)切削水消耗量：消耗量约3.5L/min（供应商配套超纯水净化机（亿翱)) |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
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| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
