仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 光电磁实验室
仪器生产商： Denton Vacuum LLC
购置日期： 2016-10-08
规格型号： Explorer-14,Explorer-14
放置地址：超净室
仪器管理员：陈辉
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 主要用于制备高质量介质、半导体、及金属薄膜 |
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| 主要参数： | 304不锈钢腔体；高度不低于750mm，保证蒸发镀膜入射角度。配置机械泵和低温泵，从大气抽到2E-6Torr时间少于30分钟。系统的极限压强可达≤1E-7Torr。电子枪功率不低于6kW，使用国际知名品牌电子枪。样品台带电机驱动实现连续旋转，最大转速不小于20转/分钟，转速可调。样品台不小于8英寸，具有水冷功能。石英晶振膜厚控制系统，可自动稳定地控制蒸发速率以及最终膜厚。 |
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