仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 光电工程实验室
仪器生产商： 光驰
购置日期： 2014-12-15
规格型号： OIS-two,RF 17cm
放置地址：140
仪器管理员：沈伟东
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 主要功能：制备高精度、高质量薄膜。应用范围：光学薄膜，光电薄膜，功能薄膜等。可与物理，材料，能源等学科共享。 |
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| 主要参数： | 栅网尺寸17cm最大射频功率750W（13.56MHz）束電圧100V～1500V最大束電流1200mA幅度>900mm离子流密度>60μA/cm2离子流密度分布±10%以内加速电压100V～1000V标准导入气体量氧气50sccm或氩气30sccm中和器最大射频功率150W（13.56MHz）中和器最大中和電流2000mA中和器标准导入气体量氩气8sccm |
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