仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 极端光学技术与仪器全国重点实验室
仪器生产商： 布鲁克
购置日期： 2014-10-30
规格型号： DEKTAK-XT
放置地址：135
仪器管理员：陈莉英
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;13:30-22:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 24 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 2400 小时 0 点； 普通: 2400 小时 0 点； 资深: 2400 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 100 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 1、可用于薄膜、材料、微结构等厚度的测量及线粗糙度的测量，不限制金属非金属。 2、接触式表面形貌测量仪器，测试得到结果是一个横坐标水平面（X）方向，纵坐标深度方向（Z）的二维数据，根据该数据，可以得到台阶高度值及粗糙度值。 3、按小时计费，通常测量膜层厚度的样品，一小时可以测试六个及以上。 4、区别于AFM一是测量区域大，100微米以上区域；二是对粗糙度忍耐程度高，可以测试微米级别的粗糙度。 5、探针非易耗品，正常操作探针不会损坏。 6、如需要得到一个三维数据及三维图，建议预约“三维干涉显微镜”，同一个管理员老师。 预约须知： 有门禁上岗证同学选择”自主预约“，日历最短时长可以选择0.5 小时。 请不会操作的同学选择“送样预约” 并看如下预约要求。 1、请添加管理员老师微信13750812612 联系，预约测试时间。 2、数据可以选择干净U盘拷贝，也可以通过微信发送数据。 3、管理员老师操作，无需自己操作。带样品在预约时间来就行了。 4、”送样预约“的最短预约时间为1小时。1小时至少可以准备6个样品进行测试。 5、有磁性的以及材质软的样品，这两类样品会损害探针，不能测试；有上述问题的样品推荐使用“三维干涉显微镜”测试。 6、测量样品的测量面，需要保持水平状态（能放平）。 7、最小可测到5nm左右厚度（根据样品本身粗糙度），更适合5nm以上50微米以下的高度差的样品进行测试。测试区域比较大，单方向可扫描100um到2000um范围。 |
|---|
| 主要参数： | 用探针接触式扫描获取高度信息，类似于原子力显微镜。高度上的精确度为0.1nm，只能测试微米级别及以下的台阶，高度差大于50微米的样品不能测试。单次扫描长度通常在300微米-2000微米左右。横向扫描精度4um，纵向扫描精度在0.1nm。 |
|---|
