仪器编号：登录后查看
所属平台： 电镜集群
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 极端光学技术与仪器全国重点实验室
仪器生产商： 德国Carl Zeiss公司
购置日期： 2011-06-30
规格型号： Auriga 40
放置地址：玉泉校区 > 第三教学大楼 > 一层 > 122
仪器管理员：王伟
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 00:00-24:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.1 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 4 周 0 点； 普通: 4 周 0 点； 资深: 4 周 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 60 分钟 |
| 仪器介绍： | 基于玻璃、光学晶体、氧化物等介质材料的低维纳米线、条、孔等导波结构的精密制备；纳米尺度的金属表面等离子体共振结构、导波结构、衬底结构的制备和加工；亚波长量级的光子晶体结构、负折射率材料结构的加工制备；氧化物半导体纳米结构的高精度表面处理、结构加工和制备；其他无源和有源纳米光子结构和材料的制备和改性，各种微纳结构剖面观察。该设备购置以来，为材料、物理、化学、生物、光电等相关学科的研究人员提供各种微纳结构的加工服务。 |
| 主要参数： | 本仪器采用液态Ga离子源，离子束成像分辨率达2.5nm@30kV，离子加速电压介于2-30kV，加工束流1pA-20nA多档可选。在50nm线宽条件下，加工材料为单晶Si，加工深宽比可优于5:1。极限加工线宽10nm（仅针对部分材料），最大加工视场423um。为便于对加工样品及时成像，仪器搭载有场发射扫描电子显微镜（SEM）。电子束系统：分辨率：优于3nm电子加速电压:200V-30kV电子束流：最大束流不小于10nA |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
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| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
