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仪器状态:
所属单位: 浙江大学 > 高分子科学与工程学系 > 高分子科学与工程学系(直管)
仪器生产商: Angstrom Engineering
购置日期: 2013-09-24
规格型号: AE,蒸镀腔室300x365mm
放置地址:海宁国际校区 > 教学南区(东侧) > 一层 > 2C108
仪器管理员:李寒莹
联系电话:登录后查看
| 工作时间: | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段: | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段: | 168 小时 |
| 日历最小单位: | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间: | 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间: | 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数: | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间: | 1440 分钟 |
| 仪器介绍: | 蒸镀金属电极;制备有机半导体器件;表征测试 |
| 主要参数: | 1)、系统外尺寸为1000mmx600mm,钟罩式蒸镀腔室,尺寸为300x365mm,内有可拆卸的不锈钢内衬;在系统洁净、空置情况下极限真空度可达5X10-7Torr;(2)、系统配有250l/s的瓦里安分子泵,前级泵为DS102瓦里安油泵;(3)、系统带有4个热蒸发源,并配有2个蒸发源电源并可以实现2源共蒸;(4)、系统带有一套SQC-310Inficon镀膜控制系统,并带有一个膜厚检测探头具水冷功能;(5)、样品台旋转功能,转速0-50转/分钟,样品台直径100mm,可安装2-4英寸及不规则形状的样品;(6)、带有一个样品台挡板,可以自动控制;(7)、系统带有一台水冷机;(8)、系统可以和手套箱集成; |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||