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真空镀膜机

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真空镀膜机

真空镀膜机

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 高分子科学与工程学系 > 高分子科学与工程学系(直管)

仪器生产商: Angstrom Engineering

购置日期: 2013-09-24

使用模式: 送样预约,自主预约

规格型号: AE,蒸镀腔室300x365mm

放置地址:海宁国际校区 > 教学南区(东侧) > 一层 > 2C108

仪器管理员:李寒莹

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

蒸镀金属电极;制备有机半导体器件;表征测试

主要参数: 1)、系统外尺寸为1000mmx600mm,钟罩式蒸镀腔室,尺寸为300x365mm,内有可拆卸的不锈钢内衬;在系统洁净、空置情况下极限真空度可达5X10-7Torr;(2)、系统配有250l/s的瓦里安分子泵,前级泵为DS102瓦里安油泵;(3)、系统带有4个热蒸发源,并配有2个蒸发源电源并可以实现2源共蒸;(4)、系统带有一套SQC-310Inficon镀膜控制系统,并带有一个膜厚检测探头具水冷功能;(5)、样品台旋转功能,转速0-50转/分钟,样品台直径100mm,可安装2-4英寸及不规则形状的样品;(6)、带有一个样品台挡板,可以自动控制;(7)、系统带有一台水冷机;(8)、系统可以和手套箱集成;
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