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椭圆偏振光谱仪

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椭圆偏振光谱仪

椭圆偏振光谱仪

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 高分子科学与工程学系 > 高分子科学与工程学系(直管)

仪器生产商: J.A.Woollam

购置日期: 2007-12-11

使用模式: 送样预约,自主预约

规格型号: M-2000,*

放置地址:紫金港校区 > 和同苑6幢(高分子大楼) > 三层 > 高2-319

仪器管理员:钟子龙

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

光谱范围为190~1700nm,分辨率3.0nm;入射角可在45~90°范围内连续自动可调;光斑直径2~5mm,发散度0.5°。2.测量速度快,可以实现多波长同时检测及实时在线跟踪。3.具有样品加热台、液体池、光斑聚焦等附件。可变温和在液态下测量。

椭偏仪首先测量偏振光经样品表面反射后偏振态的变化(Ψ和Δ),然后建立模型拟合数据,得到结果。可用来探测材料的光学常数、薄膜厚度以及材料微结构等特性,测量对样品无破坏性。可测的样品包括大块材料、薄膜以及在平面基底上生长或沉积的多层结构。其主要功能包括:测量材料的光学常数,多层膜厚度,材料梯度,表面与界面粗糙度,结晶度,合金组分比例,材料的各向异性等等。

主要参数: 薄膜厚度和折光指数
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