仪器编号：登录后查看
所属平台： 电镜集群
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 电子显微镜中心
仪器生产商： FEI
购置日期： 2011-12-09
规格型号： Quata 3D FEG
放置地址：玉泉校区第十一教学楼121A
仪器管理员：吴哲敏
联系电话：登录后查看
双束聚焦离子束微纳加工仪
双束聚焦离子束微纳加工仪
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所属平台： 电镜集群
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 电子显微镜中心
仪器生产商： FEI
购置日期： 2011-12-09
规格型号： Quata 3D FEG
放置地址：玉泉校区第十一教学楼121A
仪器管理员：吴哲敏
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| 工作时间： | 08:30-18:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0.1小时； 普通资格用户: 0.1小时； 资深资格用户: 0.1小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 1 周 12 点； 普通: 0 月 12 点； 资深: 0 天 16 点 |
| 最大有效预约次数： | 50 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
检测项目名称：截面制备
检测资质：-
检测单位：电子显微镜中心
仪器数量：1
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 聚焦离子束技术（FIB）是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜淀积和无掩膜刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。它可用来分析样品化学成分、进行生物研究以及制造保持血管畅通的心脏固定膜等微型医学植入材料。其基本功能可概括为:定点切割,选择性的材料蒸镀,强化性蚀刻或选择性蚀刻,蚀刻终点侦测。在透射电镜试样制作方面，聚焦离子束显微镜是一个优越的手段，能在较短的时间内与高成功率完成。。服务内容：FIB,SEM,EBSD,BSE，普通透射样的制样时间为2.0-2.5小时 |
|---|
| 主要参数： | 电子源:FEG离子源:Galliumliquidmetal加速电压：SEM≤30KVFIB≤30KV，束流≤60nASEM二次电子像分辨率:≤1.2nm@高压模式≤2.8nm@低压模式FIB分辨率≤7nm |
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