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台式扫描电镜

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台式扫描电镜

台式扫描电镜

仪器编号:登录后查看

所属平台: 电镜集群

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 化学工程与生物工程学院 > 化学工程联合国家重点实验室

仪器生产商: 日本日立(HITACHI)

购置日期: 2017-11-28

使用模式: 自主预约

规格型号: 日立SU3500,日立SU3500

放置地址:化2-320

仪器管理员:郑娜

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

该仪器具有超高分辨率,能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像,配备超大窗口SDD探头的高性能X射线能谱仪,同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般钨灯丝扫描电镜相比,它的低真空模式能够观察导电性能不好、或不喷金的样品的背散射电子像。

主要参数: 高真空分辨率:二次电子像3.0nm@30kV二次电子像7.0nm@3kV背散射电子像:4.0nm@30kV低真空分辨率:背散射电子像:4.0nm@30kV加速电压:0.3~30kV,0.1kV/步放大倍数:5~300,000倍,连续可调电子枪:预对中钨灯丝电子枪探测器:高真空二次电子探测器,高灵敏5分割背散射电子探测器样品台:全电动5轴马达;可装载最大样品直径200mm,高度80mm真空系统:具有高低真空功能,低真空可变压力范围6Pa~650Pa