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COMPex准分子激光器

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COMPex准分子激光器

COMPex准分子激光器

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所

仪器生产商: lambda physik公司

购置日期: 2006-06-23

使用模式: 送样预约,自主预约

规格型号: compex准分子,compex102

放置地址:材1-114

仪器管理员:何海平

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

属于冷激光,无热效应,方向性强、波长短(紫外),纯度高、输出功率大,脉冲宽度短。在脉冲沉积镀膜(PLD)过程中,强脉冲激光作用下的靶材物质聚集态迅速发生变化,成为新的状态而跃出,直达基片表面凝结成薄膜

主要参数: 220V248nm,单脉冲700mJ