基本信息

  • 生产厂商 浙江中大技术进口有限公司
  • 资产编号 11024667
  • 资产负责人 金佳莹
  • 购置日期2011-12-23
  • 仪器价格85.01 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数基片最大尺寸：单个直径2-inch基片，或多个更小的基片。基片加热最高温度：950度/850度温度均匀性：直径2-inch基片上，4摄氏度误差操作气压范围：5*10-7Torr~500mTorr靶材尺寸：6个1inch靶材到基片距离：~75mm，20mm可调

仪器介绍

沉积薄膜