在微米和亚微米级别，用于材料加工表面轮廓与形状的全面三维表征测试与分析。可获得被观测样品的微观二维形貌图像、微观三维形貌图像、微观三维轮廓与地形图像。将采样数据运算后,可获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。