本底真空优于1*10^(-9)mbar，拥有快速进样系统，可同时进样6块，测试效率高。配备美国Therm-VG公司的双阳极X光枪以及英国VG公司生产的高效电子透镜、高分辨率半球型能量分析器，计算机控制扫描、采谱。适用于各类导体、半导体（片状、粉末）样品的XPS测试，能量分析器分辨率优于50mev。冷阴极氩离子剥蚀处理，可用于表面清洁以及深度分析。