基本信息

  • 生产厂商 厦门韫茂科技有限公司
  • 资产编号 21019421
  • 资产负责人 王浩华
  • 购置日期2021-09-01
  • 仪器价格248.00 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数工艺腔室真空度可达5E-9Torr以内。衬底生长温度可达550度以上。

仪器介绍

衬底生长温度可达550度以上。