基本信息

  • 生产厂商 铠柏科技有限公司
  • 资产编号 20013344
  • 资产负责人 王浩华
  • 购置日期2020-08-27
  • 仪器价格523.87 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数三个工艺腔室真空度均可达1E-9Torr以内。电子束蒸发倾斜角度可大于75°。

仪器介绍

电子束蒸发倾斜角度可大于75°。