基本信息

  • 生产厂商 德国/CASCADE
  • 资产编号 18004767
  • 资产负责人 刘冬
  • 购置日期2018-04-03
  • 仪器价格234.67 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.8英寸半自动探针台；2.微暗室拥有最低20dB0.5-3GHz、小于-170dBVrms/rtHz（≤50KHz）、小于5mVp-p(≤1GHz)的系统AC噪声、光强衰减大于120dB；3.高低温环境可实现-60°C至300°C的温度变化，均匀性为+/-0.1°C；4.载物台在X-Y方向：1μm分辨率、小于2μm重复精度、大于50mm/sec的移动速度；在Z方向：5mm的移动范围、1μm分辨率、小于1μm重复精度；在Theta方向：+/-5.5度；5.可以实现通过软件对晶片载台X、Y、Z、Theta四个方向的移动全程控制。可提供自动晶片水平校准，自动器件尺寸测量，自动移动误差补偿，远程控制等自动化功能；6.机台台面可实现独立的上升或下降，且移动范围大于10mm；移动重复精度≤3μm；

仪器介绍

在片测试时,能有效地屏蔽光及电磁波干扰,且可在-55~300度的环境下进行直流IV/CV参数（漏电流为fA级）提取;或可以进行S参数（频率可高达110GHZ）的测试；更详细地了解器件的性能