基本信息

  • 生产厂商 北京中电科电子装备有限公司
  • 资产编号 12020360
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  • 购置日期2012-12-14
  • 仪器价格29.93 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商北京中电科电子装备有限公司
  • 购买经办人
  • 主要配件 1)主轴转速:3000~40000rpm 2)X轴有效行程:Max230mm;Y轴有效行程:Max160mm;Z轴有效行程:Max20mm 3)最小步进设定:0.001mm 4)轴转角范围:Max260° 5)重复定位精度:±20” 6) 显微镜:单物镜摄像;放大倍率:100X 7)工件尺寸:2~6英寸 8)应用刀片:中50.8mm~中56mm
  • 主要参数

仪器介绍

划片机用于芯片的切割和划片,如微电子、光电子、MEMS、碳化硅电力电子器件等芯片的划片工艺中,将晶圆切割为单独的芯片die。

芯片划片机主要用于集成电路、发光二极管、铌酸锂、压电陶瓷、石英、砷化镓、蓝宝石、碳化硅、氮化镓等材料的划切加工。与材料学科和机械学科可以共享。