基本信息

  • 生产厂商 上海和伍精密仪器股份有限公司
  • 资产编号 17025624
  • 资产负责人 刘冬
  • 购置日期2017-12-05
  • 仪器价格80.00 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数扫描范围314x314mm，扫描精度达±0.5微米；图像分辨率：4百万（2048x2048）物理像素；3维虚拟立体成像；反射扫描模式和穿透式扫描模式可选；对样品进行逐层切片分析

仪器介绍

探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析