场发射扫描电子显微镜采用肖特基场发射电子枪，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的二次电子、背散射电子等信号来调制成像。主要用于材料微观形貌、表面结构及微区特征的高分辨观测，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点，可满足纳米尺度下对各类材料精细结构的表征需求。