基本信息

  • 生产厂商 santac
  • 资产编号 18014524
  • 资产负责人 魏兵
  • 购置日期2018-09-07
  • 仪器价格56.41 万元
  • 仪器产地日本
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数平移运动台（X-Y-Z轴）最大行程：X:30mmY:20mmZ:70mm精度：0.05μm单向重复性：±0.3μm旋转（PitchθX-YawθY-RollθZ轴）最大行程（mm）：θX:±8o,θY:±8o,θZ:±8o分辨率（μm）：0.003°/fullstep材质：不锈钢/铝合金最高速度（mm/s）：0.4夹具通用光纤阵列（FA）夹具〈配有接触传感器〉×2接触传感器精度〈2μm通用1×NSplitter夹具（1×2到1×64适用）×1机械视觉摄像头：CCD×3照明：LEDBarLight（软件调控）机械视觉：视频采集卡等分辨率：200万像素运动平台：100mm（可根据需要修改）马达行程6或13mm手动XY平台（微调）

仪器介绍

该全自动耦合系统是在耦合工艺中的高精运动平台，具有快速耦合端面平行自动调整功能。通过两边FA夹具上的传感器测出接触状况，进而通过高精度运动，实现高准确度和重复性的波导耦合。