基本信息
- 生产厂商 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
- 资产编号 25011509
- 资产负责人 ----
- 购置日期2021-12-08
- 仪器价格90.00 万元
- 仪器产地中国绵阳
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数运动精度： 定位精度：通常优于±0.1 μm，高端系统可达纳米级（如±10 nm）。 重复定位精度：≤±0.05 μm。 直线度/平面度：≤0.1 μm/100 mm。 分辨率与行程： 线性轴分辨率：0.01 μm（纳米级驱动技术）。 旋转轴分辨率：≤0.1 arcsec（角秒级）。 行程范围：线性轴可达500 mm，旋转轴360°连续。 动态性能： 最大速度：线性轴100-500 mm/s，旋转轴10-50 rpm。 加速度：0.5-2 m/s2（高动态需求场景）。 刚性与稳定性： 静态刚度：≥100 N/μm（抗变形能力）。 热稳定性：环境温度波动控制在±0.1°C以内，热漂移＜0.05 μm/℃。 多轴联动： 支持3-5轴同步控制（如X/Y/Z线性轴+旋转轴），插补精度≤0.2 μm。 振动与噪声： 隔振设计：被动/主动隔振，振动振幅＜10 nm（@1-100 Hz）。
