形状测量激光显微镜系统是一款非接触式3D表面轮廓仪，集成了激光共聚焦、白光干涉和聚焦变化三种测量原理，能够从纳米到毫米级别完成多种表面形貌的测量与分析。可实现大范围自动扫描与图像拼接，适用于粗糙度分析、膜厚测量、3D轮廓构建等多种应用场景

综合倍率达42-9600倍

配备物镜：2.5X物镜、5X物镜、10X物镜、20X物镜、50X APO物镜、10X白光干涉物镜

最大样品高度：70mm，最大样品尺寸：用318mm直径观察整个物体