校内：自行操作400元-小时。委托加工660元-小时。起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位。自备光刻掩膜版。收费标准仅针对正常单项工艺。 校外：自行操作800元-小时，委托加工1320元-小时，起步时间30分钟，30分钟以上15分钟为基本计时单位，自备光刻掩膜版，收费标准仅针对正常单项工艺。（参考校收费管理小组2018年第4次会议）