★1.光源:UV LED 波长380 nm
★2.具备指引光源:波长500 nm ~650 nm之间,可实现指引图像投影,用于成像聚焦。(投标文件中需提供仪器彩页或者厂家白皮书等技术证明文件)
3.大幅面拼接可实现宏微观一体化制造,最大样品尺寸≥50 mm×50 mm×50 mm
4.打印方式为上投影下拉式打印,打印光强和时间可精确控制
★5.光学精度:2 μm(投标文件中需提供仪器彩页或者厂家白皮书等技术证明文件)
6.配备工业相机,实时监测打印过程
7.层厚参数:最小层厚≤3 μm
8.二维加工最小线宽尺寸≤3 μm
★9.可实现复杂三维结构的加工,最小圆锥尖端≤3 μm,最小结构线径≤30 μm,公差±5 μm
10.支持可视化定点定位加工功能,指引图像辅助定位,指引图像不会引起光敏树脂变性(投标文件中需提供仪器彩页或者厂家白皮书等技术证明文件)
11.配置精密XY位移台(直线电机),运动行程≥ 80 mm,运动台编码器分辨率为50 nm
12.配置精密电动垂直台(直线电机),运动行程≥ 50 mm,最小打印层厚3 μm,运动台编码器分辨率为50 nm
13.配置寻焦电动垂直台,运动行程≥ 15 mm,运动台编码器分辨率为50 nm
14.支持生物相容性透明树脂、刚性/柔性树脂、水洗树脂、耐高温树脂及陶瓷材料打印,也支持第三方材料打印(投标文件中需提供仪器彩页或者厂家白皮书等技
15.支持在多种衬底上加工,包括但不限于硅片、金属、玻璃和塑料。