主要用于光刻区图形转移工艺后的表面形貌实时观测。也可用于各类芯片、固体材料、透明和非透明样品的形貌观察、划痕和缺陷检测。

最高可实现1200万以上像素的高清图像采集。

自动对焦，2D扫描，3D扫描，拼图，2D和3D测量，高度、粗糙度测量。