本设备双束聚焦离子束配备先进的离子束镜筒，利用精确控制的Ga+离子束，实现纳米级的精准加工能力；配备高亮度电子束镜筒，实现分辨率高达0.7nm的高质量成像；配备多种金属GIS，实现精准的电路修补，图形生成等功能。

常用功能可概括为表面/截面样品制备（适用TEM/SEM），精确图形生成（刻蚀方法/沉积方法），高质量表征（SEM/TEM/EDX-mapping/EBSD）

机组提供各类样品制备，透射电镜表征，实验方案设计一站式服务，只需联系机组负责人（e-mail：zm-wu@zju.edu.cn）说明需求即可统一安排。

机组特色服务：

• 块体样品制样服务

• 30kV超低压透射表征，适用组织切片、胶原、等电子束敏感材料表征

• 80kV低压高分辨表征，适用组织切片、胶原、细胞等电子束敏感材料表征

• 原位加热测试（含制样），实现各类样品在不同温度条件下结构演化过程的高质量追踪

• 原子级二次电子（SE）成像

• 原子级EDX-mapping表征

• 原子级EELS表征

• 高级操作培训，面向长期有个性化需求用户，针对性设计方案，提供培训