基本信息
- 生产厂商 深圳市原速光电科技有限公司
- 资产编号 24007727
- 资产负责人 ----
- 购置日期2024-05-06
- 仪器价格119.00 万元
- 仪器产地中国
- 仪器供应商深圳市原速光电科技有限公司
- 购买经办人
- 主要配件 原子层沉积系统
集成等离子体系统
臭氧系统
热阱系统
高温模块
- 主要参数适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工。
至少配备6路前驱体源管路：两路常温源、4路加热源；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀。
加热箱：室温至不低于120 ℃可控，控制精度优于或等于±1 ℃，要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热，加热箱内管路温度均匀性优于或等于±5 ℃。
等离子体系统配备射频电源，频率13.56 MHz，功率不小于1000 W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10 W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60 dBc，谐波抑制不小于-50 dBc。
臭氧发生器输出端至少配备1个微调阀和1个隔膜阀，阀门最高耐温不小于120 ℃。
