基本信息

  • 生产厂商 英国牛津仪器等离子技术公司
  • 资产编号 22012311
  • 资产负责人 马皓
  • 购置日期2022-07-29
  • 仪器价格128.71 万元
  • 仪器产地英国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1、对于SiO2的刻蚀速率：40nm/min；2、片间均匀性：0.53%；3、刻蚀选择比：光刻胶=3.2:1；4、刻蚀侧壁倾角：75.65°；5、对于SiNx的刻蚀速率：88nm/min；6、片间均匀性：0.49%；7、刻蚀选择比：光刻胶=1.8:1；8、刻蚀侧壁倾角：73.01°。

仪器介绍

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