1.溅射室极限真空度：6.7*10-5Pa；2.系统漏率：1*10-7Pa.L/s；3.溅射室烘烤照明：采用红外加热除气方式，烘烤温度：150℃；4.样品台：可加热旋转，最大4英寸样品，样品台最高的加热温度为500℃，程序控温；5.样品实现自转，转速为：0-50r/min；6.靶材尺寸：2英寸。