基本信息

  • 生产厂商 浙江赛威科光电科技有限公司
  • 资产编号 22005890
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  • 购置日期2022-05-09
  • 仪器价格29.70 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.腔体漏率：小于1*10-10Pa.m3/s；2.分子泵：对氮气抽速大于600L/s；3.机械泵：抽速6L/s；4.极限真空：小于6.7E-5Pa；5.恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于40分钟；6.采用10V200A的稳流电源，电流调节精度0.1A，最大电流200A，最大电压10VDC；7.最高加热温度：650度，温度控制精度±0.3度；8.可装载最大6英寸样品（样品盘直径150mm，方片尺寸100*100mm）；9.样品台旋转：转速0-25rpm连续可调；10.可蒸镀金属:Cu,Ni。

仪器介绍

1.溅射室极限真空度：6.7*10-5Pa；

2.系统漏率：1*10-7Pa.L/s；

3.溅射室烘烤照明：采用红外加热除气方式，烘烤温度：150℃；

4.样品台：可加热旋转，最大4英寸样品，样品台最高的加热温度为500℃，程序控温;

5.样品实现自转，转速为：0-50 r/min。