基本信息

  • 生产厂商 倍耐克有限公司
  • 资产编号 22003542
  • 资产负责人 骆季奎
  • 购置日期2022-03-30
  • 仪器价格149.00 万元
  • 仪器产地中国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.沉积材料：Al2O3、ZnO、SiO2； 2.工艺温度：20-500℃； 3.样品尺寸：6英寸向下兼容； 4.沉积速率：Al2O3：10nm/125cycle、ZnO：20nm/125cycle。

仪器介绍

1.沉积材料：Al2O3、ZnO、SiO2；

2.工艺温度：20-500℃；

3.样品尺寸：6英寸向下兼容；

4.沉积速率：Al2O3：10nm/125cycle、ZnO：20nm/125cycle。