1.宽量程：高达200V，1A（脉冲3A），0.1fA的灵敏度；

2.FS-Pro的SMU的I-T采样率指标，最小设定1e-6s（1us），数据存储达10万个点；

3.带宽：0.001Hz-100KHz；

4.噪音分辨率：2e-28A/Hz；

5.测量速度：＜10秒钟/偏置（f>0.5Hz）；

6.DUT最小阻抗：500Ω；

7.DUT直流偏置和电流：200V，1A。