基本信息

  • 生产厂商 美国KLA
  • 资产编号 21036428
  • 资产负责人 骆季奎
  • 购置日期2021-12-23
  • 仪器价格44.37 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.量程：5nm-100um；2.水平分辨率：0.025um；3.最大扫描长度：150mm，仅2D扫描；4.扫描速度：2um/s-25mm/s；5.探针测量力：0.03-50mg；6.探针半径：2um；7.双重倍数显示：60-240x。

仪器介绍

1.量程：5nm-100um；

2.水平分辨率：0.025um；

3. 最大扫描长度：150mm，仅2D扫描；

4.扫描速度：2um/s-25mm/s；

5.探针测量力：0.03-50mg；

6.探针半径：2um；

7.双重倍数显示：60-240x。