1.套刻精度：正面精度±0.5um；背面精度±1um；

2.支持晶圆尺寸：6英寸及以下；

3.汞灯功率：350W；

4.分辨率：≤0.8um；

5.对准精度:（TSA）3≤±0.5um（BSA）3≤±1um；

6.均匀度：优于±2.5%。