基本信息

  • 生产厂商 科特莱思科
  • 资产编号 25001661
  • 资产负责人 ----
  • 购置日期2025-03-03
  • 仪器价格149.53 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商浙江纳德科学仪器有限公司
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数镀膜均匀性：优于+/-5%，靶枪最低工作压强：0.7mTorr，极限真空度：1E-7Torr，基片尺寸：最大6英寸，样品台最高加热温度：550摄氏度，靶枪：3个靶枪，强磁靶、金属靶、绝缘靶。平台提供Ta、Nb靶材，其余靶材需要自带

仪器介绍

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