基本信息
- 生产厂商 SENTECH
- 资产编号 25001643
- 资产负责人 ----
- 购置日期2025-03-03
- 仪器价格279.60 万元
- 仪器产地德国
- 仪器供应商安科瑞泰科技(北京)有限公司
- 购买经办人
- 主要配件 激光终点监测仪：
（1）激光波长670 nm，测量时间<1秒；
（2）带X-Y电动位移，行程不小于20 mm x 20 mm。
- 主要参数上电极ICP源射频发生器：频率13.56 MHz，功率≥ 1000 W；
下电极偏置射频发生器：频率13.56 MHz，功率≥ 500 W；
下电极温度控制范围不小于-20℃到+200℃，控温精度±1℃。
