1.系统具备4个高精度源测量单元（SMU）单元，技术指标：

★1.1  数量为4个；4个SMU的电流测量分辨率最高到0.1 fA； 测量精度最高到30fA；最大直流电流不低于1A，最大脉冲电流不低于3A；

2. 4个SMU的最大电压源不低于200 V， 最小电压测量分辨率最高到0.1uV，电压测量精度最高到30uV；

★3.最大直流功率20W，最大脉冲功率不低于400W，脉冲模式下的最短脉冲宽度为50us；

  4. SMU具备脉冲IV-T测试模式，最快采样时间550ns，IV-T模式下的最大数据存储容量10万个点；

  5. 内置1个CV测试功能，带宽10Hz-10KHz，偏置电压+/-200V；

★6. 内置1个1/f噪声测试功能，带宽1Hz-100KHz，噪声本底1e-28A2/Hz，偏置电压+/-200V，测试时间8s-10s/偏置；；

★6. 系统可不换线测试（探针扎好器件后，无需换线一次顺序完成I-V、1/f 噪声测试）；

7.半导体参数分析仪主机含嵌入式PC： Windows 操作系统，图形化全套测试软件，可以外接显示器。测试软件要求：

7.1简单易用：仅需点击鼠标即可完成器件测量；

7.2提供样板测量例程，提供绝大多数器件测量例程：MOSFET， 双极器件，晶体管器件，晶体管电容器，电阻器，二极管等；

用于在半导体光电探测器以及其他先进半导体器件的电学参数测试，广泛应用于先进半导体器件的研发工作。

 FS-Pro系列是业内的人工智能驱动的一体化半导体参数测试系统，单台设备具备IV, CV 与 1/f noise 测试能力，内建的AI算法加速技术全面提升测试效率。业界低频噪声测试黄金系统9812DX和 FS-Pro 的融合使两个产品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。  链接： https://www.gys.cn/canshuceliangyi/4714533716.html  备注：设备厂家的官网进不去，链接为经销商网页。