场发射扫描电子显微镜（Field Emission Scanning Electron Microscope ，FESEM）是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高，成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。配备能谱探测器，可进行元素分析检测。