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1.定性:X射线光电子能谱(XPS)可以定性检测元素周期表中除H和He以外的几乎所有元素种类及价态信息; 2.定量:半定量,表面灵敏型测试深度小于10纳米; 3.成像:元素XPS二维成像,200-800微米范围。