功能

ü  成像模式：轻敲模式（AC Mode）、 接触模式（Contact mode）、定量相位成像模式（Phase imaging）、横向力模式（LFM）、Dual AC模式

ü  电学测试模式：导电原子力显微镜（Conductive AFM/c-AFM/CAFM/CSAFM）、开尔文探针力显微镜（KPFM/SKFM/SKPM）、静电力显微镜（EFM）

ü  力学模式：力-距离曲线和矩阵图测试 

ü  压电力显微镜（PFM）模式：表征材料表面的电畴分布，主要用于对压铁电样品进行研究，如PZT，BFO以及分子铁电体等。

（1）DART-PFM（双频共振追踪压电力显微镜）模式;

（2）Switching Spectroscopy PFM（压电转换谱）模式；

（3）Lateral PFM（面内PFM）；

（4）Vector PFM（矢量PFM）；

（5）Litho PFM（压电刻蚀）。

ü 磁力显微镜（MFM）：表征样品表面的磁畴分布，主要用于对磁性样品的研究，如研究磁盘表面的磁畴分布。

ü  纳米加工/刻蚀：软件图画式路径操作进行纳米刻蚀、纳米操纵、阳极氧化刻蚀、压电刻蚀。

ü  温度控制：室温-200℃