ICP-MS通过电感耦合方式将样品溶液转化成等离子体，以等离子体为离子源分析元素质荷比并计算原子数量，从而得到待测元素种类及含量。

主要由以下几个部件组成：

进样系统：液体样品被泵入雾化器形成气溶胶。

等离子体：射频线圈通过电感耦合方式产生高频磁场，使氩气电离形成等离子体。样品气溶胶在该处形成等离子体。

离子透镜：将等离子体中的正离子与光子和未电离粒子进行分离。

碰撞池：消除多原子离子的干扰。

质滤器：根据质荷比对正离子进行筛选。

检测器：将正离子转化成电子脉冲从而检测离子含量。

配备微波消解仪和有机进样系统，除水溶液外，可分析高分子有机溶液样品，可测元素70余种，检测线低，稳定性好，样品用量少。