基本信息

  • 生产厂商 MPI
  • 资产编号 20036957
  • 资产负责人 马皓
  • 购置日期2020-12-09
  • 仪器价格132.78 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数1.载片台1.1载片台尺寸不小于Φ210mm。1.2包含两个独立辅助载片台，尺寸不小于25mm*25mm,平坦度≤±5μm。1.3xy方向移动范围：≥25×25mm，分辨率≤1μm，包含千分尺精细调节方式。1.4Y轴取放片行程≥90mm1.5Z轴可调范围0-20mm，调节分辨率＜1.0μm1.6.360°旋转，精细调节范围≥±5°2.针座平台2.1平台至少可容纳4个射频针座或者8个直流针座。2.2可升降，z方向可移动范围：0-3mm。2.3Z方向接触分离高度小于等于300μm2.4兼容keysight/VDI/RS等主流扩频模块。3.显微镜系统3.1采用单筒式高分辨率显微镜，含LED同轴光源3.2变焦比：不小于3.3x3.3放大倍率范围不小于1.25-15倍，光学分辨率不小于1.6μm，综合放大倍率不小于400倍。

仪器介绍

1.最高可升级支持1.1THz频率测试2.针座平台至少可容纳4个射频针座或者8个直流针座3.显微镜含高清CCD，像素≥500万，配到连接CCD的显示器，可以实现图像的截屏、翻转、颜色处理等功能4.屏蔽防震性能优良5.系统带有无油涡旋（非活塞式）进口空气压缩机，采用进口膜式多级过滤干燥机，性能优良6.采用气浮式光学隔振平台，稳定可靠。