JSM-IT800是日本电子株式会社(JEOL)最新推向市场的下一代场发射扫描电子显微镜。其中JSM-IT800(SHL)实现了更加智能化和全面化的功能。另外,其样品台具有导航控制功能,并兼有手动调节功能。除此之外,智能化还体现在自动透镜控制,自动合轴,自动聚焦,自动消像散,自动反差亮度调节等功能。
JSM-IT800配备的新型闪烁体探测器,放置于加减速极之中,提高了无样品台偏压下的信噪比,并能有效收集二次电子信号。这意味着其在减速模式下可以观察不导电样品,提高截面样品边缘二次电子信号的收集。同时,该电镜的混合型无漏磁物镜的设计可用于测试磁性样品。
并且,该电镜配备的能谱仪探测窗面积大,又是热场电镜,因此做mapping响应很快。用背散射探头结合能谱来用,可以达到速度与mapping图像质量同时满足的极佳状态。