基本信息

  • 生产厂商 捷克SVCS
  • 资产编号 21005858
  • 资产负责人 陈长鸿
  • 购置日期2021-04-30
  • 仪器价格536.85 万元
  • 仪器产地捷克
  • 仪器供应商
  • 购买经办人
  • 主要配件
  • 主要参数沉积材料：SiO2、Si3N4、Poly-Si晶片尺寸：6英寸,50片LP-SiO2：源TEOS,700~800℃LP-Si3N4：800~900℃LP-Poly-Si：600~700℃,

仪器介绍

用于沉积高品质多晶硅；用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅